CW 266 nm DUV激光器頻率系列是由深紫外(DUV)波長(266 nm)連續(xù)波(CW)單頻波長轉(zhuǎn)換激光器組成，已有20多年的歷史。 OXIDE高度可靠的波長轉(zhuǎn)換晶體和通過有的高速伺服鎖定技術(shù)實(shí)現(xiàn)的精密音圈電機(jī)（VCM）實(shí)現(xiàn)了穩(wěn)定的連續(xù)激光操作. 根據(jù)所需的輸出，有三種類型（Frequency HP、Frequency-M和Frequency-C）可供選擇.
Frequency-W是一款新推出的213 nm波長型號，通過內(nèi)置的波長轉(zhuǎn)換晶體和266 nm Frequency系列開發(fā)的伺服鎖定技術(shù)，可產(chǎn)生穩(wěn)定、長壽命的連續(xù)激光操作。
高損傷閾值BBO波長轉(zhuǎn)換晶體
OXIDE自己的BBO晶體的質(zhì)量在1W輸出功率下提供了3000小時以上的單點(diǎn)壽命，在2W輸出功率時提供了1000小時以上的壽命。
此外，晶體的微小退化確保了在高光束質(zhì)量下長時間的穩(wěn)定運(yùn)動y.
高度精密的伺服鎖技術(shù)
OXIDE的高速、高精度音圈電機(jī)（VCM）伺服執(zhí)行器提供穩(wěn)定的激光連續(xù)工作。
低功耗
高效的波長轉(zhuǎn)換激光系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)了低的功耗——小于340 W。
半導(dǎo)體監(jiān)測
光電子發(fā)射光譜學(xué)
紫外顯微鏡
紫外拉曼光譜
FBG 寫入
| 型號 | Frequad-HP | Frequad-M | Frequad-C | Frequad-W |
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圖片 |
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| 波長 | 266 nm | 266 nm | 266 nm | 213 nm |
| 輸出功率 | 1 - 2 W | 0.3 - 1 W | 20 - 50 mW | 10 mW |
| 線寬 | < 0.005 pm | < 0.005 pm | < 0.005 pm | < 0.005 pm |
| 消光比 | > 100:1 | > 100:1 | > 100:1 | > 100:1 |
| 光束質(zhì)量 | TEM00, M2 < 1.2 | TEM00, M2 < 1.2 | TEM00, M2 < 1.3 | TEM00 |
| 偏振 | Vertical, Linear | Vertical, Linear | Vertical, Linear | Vertical, Linear |
| 電源 | AC 100-240V, 50/60Hz | AC 100-240V, 50/60Hz | AC 100-240V, 50/60Hz | AC 100-240V, 50/60Hz |
| 功耗 | < 300 W | < 340 W | < 70 W | < 300 W |
| 冷卻 | Air | Water | Air | Air |
| 尺寸（頭） | 240 x 840 x 160 mm | 350 x 590 x 124 mm | 153 x 202 x 79 mm | 240 x 840 x 160 mm |
| 特點(diǎn)選項(xiàng)等 | • 可提供部分維護(hù)(UV單元，基本激光器) • 無水冷 | • 可提供部分維護(hù)(UV單元，基本激光器) | • 無水冷 • 無空氣凈化 | • 可提供部分維護(hù)(UV單元，基本激光器) • 無水冷 |
更新時間：2023/5/24 17:35:35
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