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筱曉光子 640B壓力控制器

總覽

640B和641B壓力控制器是獨(dú)立、緊湊的閉環(huán)電子壓力控制系統(tǒng)。每個(gè)都包含一個(gè)電容式壓力計(jì)、常閉比例控制閥和閉環(huán)控制電子設(shè)備。640B控制壓力；641控制表壓（相對于環(huán)境大氣壓的壓力）。兩種傳感器均為Baratron®電容式壓力計(jì)，滿標(biāo)度壓力范圍為100 psi至10 Torr。Baratron電容式壓力計(jì)——以其讀數(shù)精度、穩(wěn)定性和分辨率的百分比而聞名——在較低的壓力和較寬的動(dòng)態(tài)范圍內(nèi)提供比應(yīng)變更精確的測量儀表傳感器。此外，Baratron電容壓力計(jì)沒有硅油填充，這會導(dǎo)致滯后，并會減慢控制器的時(shí)間響應(yīng)。與標(biāo)準(zhǔn)MFC在電氣上類似，640B/641B僅在200 mA時(shí)由±15 VDC供電，允許與標(biāo)準(zhǔn)電源/顯示電子設(shè)備一起使用。壓力輸出和輸入控制信號為線性0-5或0-10 VDC。640/641中包含兩個(gè)觸發(fā)點(diǎn)，帶有LED狀態(tài)指示燈，用作簡單的開/關(guān)流程限制。在MKS的終測試期間，640/641控制回路調(diào)諧參數(shù)是針對典型安裝條件預(yù)設(shè)的，但可針對不同條件和佳性能進(jìn)行現(xiàn)場調(diào)整。比例和積分項(xiàng)調(diào)整是簡單的旋轉(zhuǎn)開關(guān)，而不是電位計(jì)，以使OEM或具有多個(gè)控制器的用戶能夠?qū)⑺醒b置預(yù)設(shè)為相同的控制回路參數(shù)。

通用參數(shù)

產(chǎn)品特點(diǎn)

控制器滿標(biāo)度范圍低至10 Torr，用于低壓過程

提供彈性體和所有金屬密封版本

執(zhí)行閉環(huán)電子壓力控制

與緊湊的3“MFC型封裝外形一致

降低總體系統(tǒng)成本，同時(shí)節(jié)省寶貴的機(jī)架空間

使用經(jīng)驗(yàn)證的Baratron®電容式壓力計(jì)技術(shù)，在廣泛的壓力范圍內(nèi)獲得精確、可重復(fù)的壓力控制/測量

主要優(yōu)點(diǎn)

一體式Baratron電容壓力計(jì)提供準(zhǔn)確、可靠和寬范圍

可用于上游或下游控制器應(yīng)用

控制壓力或表壓

用于過程限制控制的兩個(gè)報(bào)警觸發(fā)點(diǎn)

技術(shù)參數(shù)

Physical
壓力傳感器類型 640B壓力器 641B集成儀表壓力控制器	• 640B • 641B
Pressure Ranges (Full Scales) 壓力范圍（滿刻度）	10, 100, 1000 mmHg (Torr); 60, 100 psi
Transducer Overpressure Limit 傳感器過壓限值	45 psia or 2x Full Scale, whichever is greater
Orifice Full Scale Ranges 孔板滿標(biāo)度范圍	50, 200, 1000, 5000, 10000, 20000, 50000 sccm (nominal Full Scale flow rates for N2 with 15 psig on inlet and atm. on outlet)
Maximum Differential Pressure (consistent with transducer overpressure limit) 大壓差（與傳感器過壓限值一致）	• 150 psi for 50 to 10,000 sccm orifices • 30 psi for 20,000 and 50,000 sccm orifices
Control Mode 控制模式	Downstream standard; Upstream optional
Performance 表現(xiàn)
Pressure Reading 壓力讀數(shù)精度 Accuracy Temp. Coefficients臨時(shí)系數(shù) Time Response時(shí)間響應(yīng)	• ±0.5% of Reading (includes linearity, hysteresis, and repeatability) • Zero: ±0.02% of Full Scale/°C • Span: ±0.04% of Reading/°C • <100 msec
Pressure Control 壓力控制裝置 Range 范圍 Accuracy 精確 Time Response 時(shí)間響應(yīng)	• >2 to 99% of Full Scale • ±0.2% of Full Scale • <1.0 sec (excluding system time constant)
Environmental 環(huán)境方面
Operating Temperature	0° to 50°C (32° to 122°F)
Storage Temperature	-20° to 80°C (-4° to 176°F)
Electrical與電有關(guān)
Power Required	±15 VDC ±5%, 200 mA max.
Input/Output Signals 輸入/輸出信號	0-5 VDC standard; 0-10 VDC optional
Connector連接器	15-pin male type “D”
Cable Length電纜長度	100 ft. (30 m) max.
RFI Sensitivity RFI靈敏度	SAMA 33.1, 1-abc:<0.2% of Full Scale
Trip Points Rated Adjustable Hysteresis Indicators 跳閘點(diǎn) 額定可調(diào)滯后指示器	• Two open-collector transistors • 250 mA @ 30 VDC • 1 to 99% of Full Scale • 3% of Full Scale • Green LEDs on when actuated
Compliance 合規(guī)性	CE
Mechanical
Materials Exposed to Gas 接觸氣體的材料 Standard 標(biāo)準(zhǔn) Optional可選擇的	• 316L S.S., 316L/VAR S.S., Inconel, Nickel • Viton®, Kalrez®, Kel-F®
Leak Integrity 泄漏完整性 External外部的 Internal1,2 (through closed valve) 內(nèi)部1,2（通過關(guān)閉的閥門）	• <10-9 scc/sec He • Elastomer valve:<10-4 scc/sec He • Metal valve:<1% of Full Scale. (N2 @ 1 atm. ∆P) • Kel-F valve:<0.5% of Full Scale (N2 @ 1 atm. ∆P)
Fittings配件	Swagelok® 4 VCR®, 8 VCR, or 1/4” Swagelok, Surface Mount
Dimensions尺寸	1.5'' (38.1 mm) x 4.88'' (124 mm) (4 VCR) x 5.50'' (140 mm) max.
Weight	2.54 lbs. (1.15 kg)

注意：

1 640/641控制閥不應(yīng)用于強(qiáng)制關(guān)閉。如果需要強(qiáng)制關(guān)閉，應(yīng)安裝單獨(dú)的閥門。選擇外部切斷閥的位置時(shí)，應(yīng)考慮內(nèi)部傳感器的大壓力額定值，以及隨著時(shí)間的推移，通過內(nèi)部閥的泄漏可能會積聚并導(dǎo)致氣體突然激增的可能性。640系列控制器需要流量才能運(yùn)行，在“死區(qū)”（零流量）應(yīng)用中無法控制壓力。

2當(dāng)設(shè)備控制其出口壓力時(shí)，“通過關(guān)閉閥”的泄漏規(guī)范適用，這是標(biāo)準(zhǔn)的竣工配置。如果設(shè)備配置為控制其入口壓力，泄漏率將更高。請咨詢應(yīng)用工程部，以確定是否需要特殊設(shè)置和測試。