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桌面臺式無掩模光刻系統(tǒng) 手動 PALET DDB-701-MS

總覽

桌面尺寸無掩模(直接曝光)光刻系統(tǒng)，通過其復(fù)雜的軟件支持簡單的光刻操作。

桌面臺式無掩模光刻系統(tǒng) 手動 PALET DDB-701-MS,桌面臺式無掩模光刻系統(tǒng) 手動 PALET DDB-701-MS

產(chǎn)品特點

硬件特性

小型化

內(nèi)置隔振機構(gòu)和真空吸油泵

只需要電源和光刻間

軟件特性

用戶方便型接口

簡易流程

支持對準和暴露條件檢查*限制電動載物臺模型

通用參數(shù)

曝光示例

電路/傳感器模式

電路圖	晶體管圖案	磁性傳感器模式

三維結(jié)構(gòu)*×2 僅物鏡

高向柱結(jié)構(gòu)	厚膜流體路徑結(jié)構(gòu)	胚胎干細胞培養(yǎng)結(jié)構(gòu)

型號	DDB-701-MS	DDB-701-DL
載物臺(Stage)	手動 XYZθ載物臺	電動 XYZθ載物臺
曝光光源	365nm (typ.) LED
Min. 線寬	3μm 1 15μm 2
單次曝光面積	1mm×0.6mm 1 5mm×3mm 2
每張照片曝光時間*3	1～2 sec. 1 15～30 sec. 2
Max. 曝光區(qū)域	25mm×25mm(手動連接)	25mm×25mm(自動連接)
可接受的工作尺寸	60mm ×60mm (t3mm)
相容文檔格式	DXF, JPEG, PNG, BITMAP, XPS
主體尺寸	300mm (W) × 450mm (D) ×450mm (H)
主機重量	30kg

*1在使用×10物鏡的情況下

*2在使用×2物鏡的情況下

*3曝光時間基于AZP系列光刻膠(t0.5mm)

公司簡介
筱曉(上海)光子技術(shù)有限公司是一家被上海市評為技術(shù)企業(yè)的業(yè)光學(xué)服務(wù)公司，業(yè)務(wù)涵蓋設(shè)備代理以及項目合作研發(fā)，公司位于大虹橋商務(wù)板塊，擁有接近2000m²的辦公區(qū)域，建有500平的AOL(Advanced Optical Labs)光學(xué)實驗室，為國內(nèi)外客戶提供業(yè)技術(shù)支持服務(wù)。公司主要經(jīng)營光學(xué)元件、激光光學(xué)測試設(shè)備、以及光學(xué)系統(tǒng)集成業(yè)務(wù)。依托業(yè)、強大的技術(shù)支持，以及良好的商務(wù)支持團隊，筱曉的業(yè)務(wù)范圍正在逐年增長。目業(yè)務(wù)覆蓋國內(nèi)外各高校、頂科研機構(gòu)及相關(guān)域等諸多企事業(yè)單位。筱曉擁有一支核心的管理團隊以及業(yè)的研發(fā)實驗室，奠定了我們在設(shè)備的拓展應(yīng)用及自主研發(fā)域堅實的基礎(chǔ)。
主要經(jīng)營
激光器/光源
半導(dǎo)體激光器（DFB激光器、SLD激光器、量子聯(lián)激光器、FP激光器、VCSEL激光器）
氣體激光器（HENE激光器、氬離子激光器、氦鎘激光器）
光纖激光器（連續(xù)激光器、超短脈沖激光器）
光學(xué)元件
光纖光柵濾波器、光纖放大器、光學(xué)晶體、光纖隔離器/環(huán)形器、脈沖驅(qū)動板、光纖耦合器、氣體吸收池、光纖準直器、光接收組件、激光控制驅(qū)動器等各種無源器件
激光分析設(shè)備
高精度光譜分析儀、自相關(guān)儀、偏振分析儀，激光波長計、紅外相機、光束質(zhì)量分析儀、紅外觀察鏡等
光纖處理設(shè)備
光纖拉錐機、裸光纖研磨機。