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電容壓力計CMC 系列

        的壓力計技術可為您提供持久的測量精度保障

        每種真空室工藝均需要精確的 Torr 水平保障以維持目標過程效率。布魯克斯儀器的電容壓力計采用行業(yè)的高級傳感器設計，能夠提升測量可靠性、限度減少漂移、耐隔膜污染并能夠使熱效應最小化并且由于布魯克斯電容壓力計產(chǎn)品均為全數(shù)字化設備，因此在寬動態(tài)范圍內具有的精度。結果表明布魯克斯電容壓力計系列產(chǎn)品非常可靠，適用于各種真空度測量應用。

關鍵應用

• 超導體制造

• 薄膜沉積工藝 – 玻璃、網(wǎng)格和光學涂層

• 凍干易腐材料

• 適用于醫(yī)療儀器的高科技涂層（手術儀器、牙鉆等）

選擇自身項目要求的電容壓力計。

經(jīng)認證的緊湊型非加熱式計量儀表，可提供經(jīng)濟有效的真空度測量

        布魯克斯儀器的 CMC 系列電容壓力計能夠在各種工作溫度范圍下可靠、準確地進行真空度測量，是經(jīng)濟實惠的優(yōu)質大型非加熱式計量儀表替代產(chǎn)品。該產(chǎn)品采用緊湊型設計并具有經(jīng)認證的性能，非常適用于因需要減少儀表占用空間而對現(xiàn)有測量工具進行升級的客戶。

        產(chǎn)品采用全接液設計和 Iconel® 接液表面技術，即使在最激烈的過程條件下也可確保實現(xiàn)可靠的可重復操作。布魯克斯儀器將精密組件和寬溫度補償工作范圍相結合提供了的零點性能和跨溫度系數(shù)從而能夠確保測量穩(wěn)定性。

特點

• 適用于 10 Torr - 1000 Torr 過程真空度范圍

• 有兩種精度水平可供選擇：讀數(shù)的 0.25% 或 0.50%（可選）

• 在各種工作溫度下均具有出色的性能

• 相較于傳統(tǒng)非加熱式電容壓力計體積小 40%

• 全焊接結構和 Inconel® 接液表面

優(yōu)勢

• 可選擇具有高精度校準功能的選件以滿足昂貴的優(yōu)質非加熱式壓力計對精度的要求

• 的零點性能和跨溫度系數(shù)

• 節(jié)省空間的設計有助于器件適配有限的設備空間

• 相較于易于發(fā)生故障（包括內部應力）的其他設計，擁有的測量結果重現(xiàn)性

應用

• 超導體制造

• 薄膜沉積工藝 – 玻璃、網(wǎng)格和光學涂層

• 凍干易腐材料

• 適用于醫(yī)療儀器的高科技涂層（手術儀器、牙鉆等）

型號

規(guī)格

性能

機械

電氣

認證和批準