電子顯微分析是材料和生命科學(xué)微觀分析中最 重要的一環(huán)，而元素分析是其中最重要的表征手段 之一，但標(biāo)準(zhǔn)的分析手段如能譜儀和波譜儀存在因 靈敏度不足、空間分辨率較差，無法進(jìn)行輕元素、 微量元素的分析，無法分辨同位素等等問題，已不 能滿足應(yīng)用發(fā)展的需求。
TESCAN提供的解決方案是將飛行時(shí)間二次離 子質(zhì)譜與FIB-SEM系統(tǒng)集成。這種組合能夠?yàn)橛?戶提供固體材料的3D化學(xué)表征和分子信息，高離 子質(zhì)量分辨率和高空間分辨率成像等，并可以進(jìn)行 原位FIB深度分析。
飛行時(shí)間-二次離子質(zhì)譜(TOF-SIMS)
TOF-SIMS (Time of Flight Secondary Ion Mass Spectrometry)是具有分辨率的質(zhì)譜儀。 工作原理是用聚焦離子束照射樣品表面，從而在樣 品最上層的原子層激發(fā)出二次離子(SI),再根據(jù) 不同質(zhì)量的二次離子飛行到探測器的時(shí)間不同來測 定離子質(zhì)量。
與EDX相比，TOF-SIMS可以實(shí)現(xiàn)更好的橫向 和縱向分辨率，還可以識(shí)別并定量樣品表面層中存 在的元素和分子物質(zhì)，以及具有類似標(biāo)稱質(zhì)量的同 位素和其他物質(zhì)等。
具有超高靈敏度，可檢測從H開始的任意元 素，檢出限達(dá)ppm量級(jí)
? 優(yōu)異的空間分辨率，橫向分辨率＜ 40 nm, 縱向分辨率＜ 3 nm
? 正負(fù)離子均可檢測，離子質(zhì)量分辨率＞800
? 2D和3D的快速、高離子質(zhì)量分辨率和高 空間分辨率成像，可進(jìn)行原位FIB深度剖析
? 通過精密控制的坐標(biāo)轉(zhuǎn)移，保證不同儀器分 析位置的重合
? TESCAN所有型號(hào)的FIB-SEM均可配置 TOF-SIMS 系統(tǒng)
1.輕元素及微量元素分析：Li離子電池中LI+面分布分析。
2.通過低電壓和小束流FIB逐層減薄，成功區(qū)分出厚度為2.5 nm的摻有0-15% 的In元素的GaN層。
3.金屬復(fù)合材料中微量元素的晶界偏析測定，檢出限可達(dá)ppm級(jí)。
4.對鈾礦石進(jìn)行初期的同位素分析，快速得到238U和235U的分布信息。
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