金屬密封熱式質(zhì)量流量控制器GF80 系列
純度氣路。超高精確，無(wú)污染的控制。
現(xiàn)今許多高級(jí)電子元器件的加工工藝都需要能夠?qū)Π嘿F的超純氣體和液態(tài)前體進(jìn)行相當(dāng)準(zhǔn)確并且具有高度可重現(xiàn)性的測(cè)定和控制。因此，布魯克斯儀器推出了自家的革命性金屬密封熱質(zhì)量流量控制器和儀表來(lái)滿(mǎn)足上述需求。該產(chǎn)品將穩(wěn)定性和準(zhǔn)確性超高的測(cè)量傳感器與快速、精準(zhǔn)的控制閥以及功能強(qiáng)大的電子元件相結(jié)合共同實(shí)現(xiàn)了精準(zhǔn)的化學(xué)品控制。高完整性（無(wú)泄漏）的超高純度全金屬流路可確保過(guò)程化學(xué)品純度，該流路專(zhuān)為防止外部污染（如濕氣和氧氣）腐蝕過(guò)程媒介而設(shè)計(jì)。
關(guān)鍵應(yīng)用
硅材料半導(dǎo)體器件制造工藝 – 蝕刻、剝膜、CVD、ALD、PVD、Epi、擴(kuò)散、植入和 RTP
化合物半導(dǎo)體器件加工工藝 – MOCVD
精密的表面涂層
分析系統(tǒng)
真空處理應(yīng)用
選擇自身工藝需求的質(zhì)量流量設(shè)備。
提升價(jià)值驅(qū)動(dòng)型金屬密封應(yīng)用的性能標(biāo)準(zhǔn)
對(duì)于許多工業(yè)和半導(dǎo)體加工過(guò)程，性能和成本效率同樣重要。GF80 系列金屬密封質(zhì)量流量控制器擁有以下兩個(gè)特點(diǎn)：設(shè)計(jì)采用與的 GF100 系列響應(yīng)速度相同的傳感器以及第四代 MultiFlo™ 技術(shù)，該產(chǎn)品是高性?xún)r(jià)比運(yùn)營(yíng)的正確選擇。另外，金屬密封的 MFC 擁有 MultiFloTM 多氣體/多量程功能所帶來(lái)的全部?jī)?yōu)勢(shì)，原因是可用氣體方面沒(méi)有限制并且由于不會(huì)發(fā)生彈性體氧滲透而提升了氣體純度，同時(shí)還由于金屬密封件有效期相當(dāng)長(zhǎng)而減少了維護(hù)工作量。
特點(diǎn)
長(zhǎng)期零點(diǎn)穩(wěn)定性，每年變動(dòng)小于滿(mǎn)量程的 ± 0.5%
1 秒內(nèi)穩(wěn)定
滿(mǎn)量程流速高達(dá) 300 slpm
全金屬密封流路 - 16µ 英寸 Ra 表面處理
耐腐蝕 Hastelloy® 傳感器可在較低溫度下工作，適用于易發(fā)生熱分解的氣體
可編程 MultiFloTM 功能 - 一臺(tái)設(shè)備即可滿(mǎn)足數(shù)千種氣體類(lèi)型和各種量程組合的需求，無(wú)需從氣路上拆除 MFC 并且不影響精度
通過(guò)有源溫度補(bǔ)償實(shí)現(xiàn)的溫度系數(shù)規(guī)范
內(nèi)嵌式常規(guī)自檢功能和獨(dú)立的診斷/維護(hù)端口
帶有 VCR 配件的細(xì)線(xiàn)體設(shè)計(jì)
DeviceNetTM、Profibus®、RS-485 和模擬接口
優(yōu)勢(shì)
1 秒完成流量穩(wěn)定，消除廢氣和過(guò)程變量影響
未采用會(huì)發(fā)生氧滲透并且使用一定時(shí)間之后需要進(jìn)行更換的彈性體密封件
MultiFloTM 精簡(jiǎn)了過(guò)程氣體切換操作 — 無(wú)需再拆除并重新校準(zhǔn) MFC
60 秒內(nèi)即可完成新氣體和/或量程的設(shè)定操作
測(cè)量精度不受溫度變化影響
可輕松訪問(wèn)診斷端口以實(shí)現(xiàn)運(yùn)行時(shí)間
規(guī)格緊湊，可輕松集成至緊張的設(shè)備空間內(nèi)；設(shè)備改型的選擇
多協(xié)議通信接口可簡(jiǎn)化向現(xiàn)有系統(tǒng)的集成操作
應(yīng)用
對(duì)翻新后的半導(dǎo)體加工工具中的原有 MFC 進(jìn)行經(jīng)濟(jì)高效的改型/升級(jí)
減少六英寸/八英寸半導(dǎo)體工廠的 MFC 庫(kù)存
用于 LED 和功率器件生產(chǎn)的 MOCVD
太陽(yáng)能/薄膜化學(xué)氣相沉積 (CVD) 系統(tǒng)
分析用 OEM 設(shè)備
型號(hào)
規(guī)格
性能
機(jī)械
等級(jí)
診斷和顯示
電氣
承諾
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