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多范圍/多氣體數(shù)字質量流量控制器

這是 HORIBA 的數(shù)字質量流量控制器型號。它具有多范圍/多氣體功能，使用戶能夠在現(xiàn)場快速、輕松地更改氣體類型或滿量程流量。
憑借高精度 +/- 1.0% SP、壓電執(zhí)行器閥、高速響應和全金屬，該質量流量控制器適用于提高過程產量和簡化零件管理。數(shù)字/模擬、DeviceNet™ 和 EtherCAT® 通信均可用。

特征

• 高精度 ±1.0% SP
  該質量流量控制器的線性由多項式近似曲線補償，并在所有流量控制范圍內實現(xiàn)高精度。為了提高實際氣體精度，各種工藝氣體的校準數(shù)據(jù)均采用HORIBA STEC的標準氣體測量系統(tǒng)進行測量。

• 高速響應
  搭載“可變PID系統(tǒng)"，可在任意兩個設定點之間實現(xiàn)1秒響應?？勺?PID 根據(jù)流量點設置不斷變化。這允許在滿量程流量和氣體發(fā)生變化時優(yōu)化 PID 因子。

• 多氣體/多范圍解決方案
  配置軟件可以快速輕松地更改規(guī)格。一個關鍵特征是無需從氣體面板或管道上拆下質量流量控制器即可進行更改。這減少了所需的備用質量流量控制器的數(shù)量；節(jié)省時間和成本。

• 質量流量控制器 SEC-Z500X 適用于各種應用以及半導體制造。

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