奧地利Alicona InfiniteFocus 自動變焦三維表面測量儀
主要特點: 該儀器可以進(jìn)行的測量和分析有:
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技術(shù)參數(shù)垂直分辨率:10nm |
InfiniteFocus是的全自動變焦三維測量儀,它的操作原理是小景深的光學(xué)系統(tǒng)與垂直掃描相結(jié)合,利用焦距變化提供形貌和色彩信息。新穎的運算法則把它重建成包含精確形貌信息的獨立的3D數(shù)據(jù)集,可追蹤的校準(zhǔn)標(biāo)準(zhǔn)可以驗證測量結(jié)果。 |
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