◆ 具有根據(jù)量塊材質(zhì)選擇相應(yīng)線膨脹系數(shù)功能
◆ 只需要8/10個參考標(biāo)準(zhǔn)，進(jìn)行零位校準(zhǔn)
◆ 節(jié)省大約50%測量時間
◆ 檢測時可選擇國家標(biāo)準(zhǔn)及自定義檢測標(biāo)準(zhǔn)
◆ 一體大工作臺配備量塊定溫區(qū)域
◆ 可選配溫度補(bǔ)償系統(tǒng)實(shí)時動態(tài)補(bǔ)償
◆ 測帽任意可更換
◆ 只需要8/10個參考標(biāo)準(zhǔn)，進(jìn)行零位校準(zhǔn)
◆ 節(jié)省大約50%測量時間
◆ 檢測時可選擇國家標(biāo)準(zhǔn)及自定義檢測標(biāo)準(zhǔn)
◆ 一體大工作臺配備量塊定溫區(qū)域
◆ 可選配溫度補(bǔ)償系統(tǒng)實(shí)時動態(tài)補(bǔ)償
◆ 測帽任意可更換
技術(shù)參數(shù)：
| 型號 | EMP 20 | EMP 25 | EMP 100 |
| 測量方式 | 直接測量 | 直接測量 | 直接測量 |
| 測量傳感器 | 激光測頭 | 增量式測頭 | 增量式測頭 |
| 測量系統(tǒng) | HE-NE激光真空波長自動補(bǔ)償系統(tǒng) | 使用heidenhain的DIADUR工藝光柵尺和零膨脹編碼器a=(0±0.1)*10-6K-1 | 使用ZEISS透射光柵尺和編碼器 |
| 分辨率 | 0.01(0.001)µm | 0.01(0.001)µm | 0.01µm |
| 測量不確定度 | (0.05+L/1000)µm | (0.05+L/1000)µm | (0.15+L/1000) µm |
| 測頭 | 特殊球面 R=20 | 特殊球面 R=20 | 直徑3mm測頭 |
| 測力 | 1N | 1N | 1N |
| 重復(fù)性 | 0.03µm | 0.03µm | 0.03µm |
| 直接測量范圍 | 25mm(max500mm) | 25mm(max500mm) | 100mm(max500mm) |
| 波長 | 632.8nm | | |
| 軟件 | 具有強(qiáng)大的測量及數(shù)據(jù)管理功能，高效、經(jīng)濟(jì) | ||
| 使用溫度 | 20℃±0.5K | ||
| 溫度變動量 | 0.2K/h | ||
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