Werth測量機(jī)的測量范圍從幾十個毫米到數(shù)米，精度從幾個微米到百個納米，測量分辨率到達(dá)1個納米，可以集成進(jìn)去使用的測量傳感器：接觸式單點(diǎn)、接觸式掃描、低接觸力測頭、激 光、激光線掃描、快速激光、WERTH光纖側(cè)頭，WERTH光學(xué)測頭、普通光學(xué)測頭、可見光干涉測頭、接觸式和激光復(fù)合的粗糙度測頭，WERTH CT (X 光高精度)測頭等十多種。
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