采用ACM 600 共焦顯微鏡可對物體的表面和結構進行非接觸式的測量，評估和顯示。裝配不同的顯微物鏡，測量視場大小和精度也不同。視場的擴展可通過釘合的方式來實現(xiàn)。
ACM 600 使用特殊的微透鏡掃描盤，使采集的單個測量點相互平行。ACM 600目前是商業(yè)化的采用微透鏡掃描盤的儀器。與尼普科夫掃描盤相比，微透鏡掃描盤使光學系統(tǒng)反應快速，所以即使暗淡的表面也能夠獲得良好的測量結果。它的另外的之處在于采用了LED作為光源，避免了使測量頭發(fā)熱，因而它的壽命幾乎可以視為無限長。儀器配備了物鏡切換盤，可以快速轉換物鏡。
檢測物件的設定和測量全過程可以通過一個獨立的監(jiān)視器觀察。測量軟件基于Windows XP操作系統(tǒng)編制，并提供所有標準的評估程序。
儀器結構緊湊，耐用，特別適用于工業(yè)用途。在微透鏡掃描盤自動伸出后，儀器可作為普通的顯微物鏡使用。
主要用途：
◆ 粗糙和光滑表面的測量和顯示
◆ 亞微米范圍內的微觀形貌測量
◆ 金相測量
◆ 非接觸式表面輪廓的計量
主要特點
◆ 0,1mm2到0,7mm2視場
◆ 采用釘合方式擴大視場
◆ 配置物鏡切換盤
◆ 確定垂直分辨率來設定測量時間
◆ 橫向分辨率可達1祄，垂直分辨率可到5 nm
◆ 具有采用微透鏡掃描盤的快速光學系統(tǒng)
◆ 全自動數(shù)據(jù)評估
◆ 實驗室和在線兩用設計
主要優(yōu)點：
◆ 高保真輪廓復現(xiàn)，對物體三維結構快速，非接觸式的定性和量化
◆ 測量結果與材料表面性能無關
◆ 根據(jù)用戶需求配置系統(tǒng)和軟件
◆ 無人干預全自動測量過程
◆ 將微透鏡掃描盤自動伸出后可作為普通的顯微物鏡使用
◆ 采用壓電驅動或步進電機進行垂直掃描
軟件:
◆ Windows XP 操作系統(tǒng)
◆ 測量和評估軟件包括下列功能： 水平調整，圖像縮放， 輪廓線的提取，毛刺的剔除， 過濾， 數(shù)學計算，F(xiàn)FT，ACF，2D/3D 粗糙度參數(shù)，面積的測定， 斜度和波度的分布狀態(tài)及其它。
◆ 用戶特定要求的計算方法
◆ 粗糙和光滑表面的測量和顯示
◆ 亞微米范圍內的微觀形貌測量
◆ 金相測量
◆ 非接觸式表面輪廓的計量
主要特點
◆ 0,1mm2到0,7mm2視場
◆ 采用釘合方式擴大視場
◆ 配置物鏡切換盤
◆ 確定垂直分辨率來設定測量時間
◆ 橫向分辨率可達1祄，垂直分辨率可到5 nm
◆ 具有采用微透鏡掃描盤的快速光學系統(tǒng)
◆ 全自動數(shù)據(jù)評估
◆ 實驗室和在線兩用設計
主要優(yōu)點：
◆ 高保真輪廓復現(xiàn)，對物體三維結構快速，非接觸式的定性和量化
◆ 測量結果與材料表面性能無關
◆ 根據(jù)用戶需求配置系統(tǒng)和軟件
◆ 無人干預全自動測量過程
◆ 將微透鏡掃描盤自動伸出后可作為普通的顯微物鏡使用
◆ 采用壓電驅動或步進電機進行垂直掃描
軟件:
◆ Windows XP 操作系統(tǒng)
◆ 測量和評估軟件包括下列功能： 水平調整，圖像縮放， 輪廓線的提取，毛刺的剔除， 過濾， 數(shù)學計算，F(xiàn)FT，ACF，2D/3D 粗糙度參數(shù)，面積的測定， 斜度和波度的分布狀態(tài)及其它。
◆ 用戶特定要求的計算方法
技術數(shù)據(jù)：
| 共焦顯微鏡頭 標準規(guī)格配置50x/0.8物鏡 帶有微透鏡掃描盤的掃描共焦傳感器 | |
| 光源 | LED |
| 壽命 h | > 50,000 |
| 采用步進電機時的測量范圍mm | 50 |
| 采用壓電執(zhí)行器件時的測量范圍µm | 100/150 |
| 垂直分辨率 nm | 5 |
| 橫向分辨率µm | 1 |
| 工作距離mm | 0.66 |
| 視場µm | 370 x 280 |
| 256個高度臺階的測量時間s | 約 30 |
| 重量kg | 約12 |
| 測量工作臺 | |
| X、Y、Z每軸位移mm | 50 |
| 最小步距µm | 1 |
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