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美國NANOVEA微米壓痕儀
簡介：美國NANOVEA公司是一家的壓痕測試儀的，生產(chǎn)的壓痕測試儀是目前國際上用在科學研究和工業(yè)領域的設備。
主要應用：
半導體技術(shù)(鈍化層、鍍金屬、Bond Pads)；存儲材料(磁盤的保護層、磁盤基底上的磁性涂層、CD的保護層)；光學組件(頭、光纖、光學刮擦保護層)；金屬蒸鍍層；防磨損涂層(TiN, TiC, DLC, 切割工具)；藥理學(藥片、植入材料、生物組織)；工程學(油漆涂料、橡膠、觸摸屏、MEMS)等行業(yè)；
技術(shù)特點：
主要用于微納米尺度薄膜材料的硬度與楊氏模量測試，測試結(jié)果通過力與壓入深度的曲線計算得出，無需通過顯微鏡觀察壓痕面積。
•符合ISO14577、ASTME2546
•光學顯微鏡自動觀察
•可硬度、剛度、彈性模量、斷裂剛度、失效點、應力－應變、蠕變性能等力學數(shù)據(jù)。
•適時測量載荷大小
•采用獨立的載荷加載系統(tǒng)與高分辨率的電容深度傳感器
•快速的壓電陶瓷驅(qū)動的載荷反饋系統(tǒng)
•雙標準校正：熔融石英與藍寶石
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