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次實(shí)現(xiàn)在掃描電子顯微鏡上安裝聚焦X射線微區(qū)熒光分析!
-提高微量元素分析的靈敏度
-更大的信息深度, 有益于鍍層厚度分析
-將電子束微束分析和微區(qū)X射線熒光分析結(jié)果相結(jié)合, 顯著改善分析的精度
 

SEM能譜分析和微區(qū)X射線熒光的優(yōu)缺點(diǎn)

Ø         SEM能譜分析的特點(diǎn):

Ø         空間分辨率相對較高: 亞微米級

Ø         檢測極限在百分比級: 1~0.1%(weight). 不適合分析微量元素.

Ø         電子束韌致輻射(bremsstrahlung)造成譜背底很大

X射線激發(fā)熒光分析的特點(diǎn):

Ø         檢測極限提高20~50倍, 可達(dá)到<50ppm

Ø         激發(fā)深度可達(dá)幾十微米, 特別適合多層鍍層的分析

Ø         非導(dǎo)電材料可直接分析

Ø         空間分辨率較差, 約幾十微米

Ø         結(jié)合SEM能譜和X射線熒光兩個(gè)譜, 可以大大提高分析的精確度.

iMOXS.SEM系統(tǒng)由以下單元組成:

-  小功率﹑空冷的微型聚焦X射線管(陽極材料有多種選擇)

-  聚焦型多毛細(xì)管X射線光學(xué)系統(tǒng)

-  掃描電鏡接口和對中法蘭

-  高壓控制器和電源單元(可選手動(dòng)控制型或PC控制型)

-  iMOXS-Quant軟件包, 包括儀器控制﹑譜圖定性和定量分析等模塊